Techniques of Informatics and Microelectronics for integrated systems Architecture

Dans le cadre d'une collaboration entre l'équipe CDSI de TIMA et NANOMISEN du CRMN à Souuse, on souhaite développer des piézoélectrets en utilisant le PVA, polymère biocompatible de plus en plus étudié dans la communauté travaillant sur les MEMS. En s’appuyant sur le savoir-faire acquis entre 2013 et 2017 sur la première génération de piézoélectrets en PDMS nous souhaitons : - optimiser les méthodes de microfabrication (création de microcavités, manipulation de films très souples, assemblage de matériau par collage plasma, effet de la température de réticulation, de l’agent rétuculant, etc) pour obtenir des échantillons de plusieurs centaines de cm2 , - optimiser le dépôt électrodes métalliques à base de nano-fils d’argent qui permettent des déformations très importantes, - analyser l’effet des paramètres physiques (pression dans les microcavités, température, nature et durée d’application du champ électrique, etc.) jouant sur la densité de charges engendrée dans les cavités, - caractériser les propriétés piézoélectriques (effets direct et inverse), - étudier le vieillissement de ces matériaux sans sollicitation (auto-décharge) puis lors de sollicitations mécaniques en grandes déformations.