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Caractérisation de la réponse de microphones MEMS et de microcapteurs de pression en hautes fréquences (10 kHz-1 MHz)

Auteur(s) : S. Ollivier, C. Desjouy, P. Yuldashev, A. Koumela, E. Salze, M. Karzova, L. Rufer, P. Blanc-Benon

Doc. Source: 22ème Congrès Français de Mécanique