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Caractérisation de la réponse capteurs de pression et de microphones MEMS

Auteur(s) : S. Ollivier, C. Desjouy, E. Salze, P. Yuldashev, A. Koumela, L. Rufer, P. Blanc-Benon

Doc. Source: CFA / VISHNO 2016

Pages : 834-837