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« Micro-générateurs piézoélectriques pour des applications de récupération d'énergie ».

Auteur : E. Trioux
Directeur de thèse : S. Basrour
Co-directeur de thèse : P. Muralt
Président du jury : E. Lefeuvre
Rapporteur(s) de thèse : Ch. Malhaire , E. Defaÿ,
Examinateur(s) de thèse : S. Monfray, T. Skotnicki,
These de Doctorat Université de Grenoble
Spécialité : Nanoélectronique et Nanotechnologies
Soutenance : 25/11/2015
ISBN : 978-2-11-129205-5

Résumé

Le sujet de ce travail de thèse s'inscrit dans la récupération d'énergie thermique à l'échelle microscopique pour proposer une alternative aux matériaux thermoélectriques. L'objectif est de concevoir, fabriquer et caractériser un récupérateur microscopique pour tirer profit de l'augmentation des échanges thermiques et des fréquences d'oscillations avec la réduction d'échelle. Il est basé sur une double transduction, thermo-mécanique grâce au flambage d'une poutre bi-couche initialement courbe, et piézoélectrique. Des structures rectangulaires de différents tailles à base d'AlN et d'Al ont été fabriquées et caractérisées. Des structures optimisées en forme de papillons permettant de réduire la courbure transverse ont par ailleurs été fabriquées et caractérisées avec des résultats prometteurs.

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