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« Solutions alternatives pour améliorer le test de production des capteurs optiques en technologie CMOS ».

Auteur : R. Fei
Directeur de thèse : S. Mir
Co-directeur de thèse : J. Moreau
Rapporteur(s) de thèse : M. Renovell, A. Bounceur,
Examinateur(s) de thèse : G. Sicard, I. O'Connor,
These de Doctorat Université de Grenoble
Spécialité : Micro et Nano Electronique
Soutenance : 13/10/2015
ISBN : 978-2-11-129202-4

Résumé

Le test de production des imageurs CMOS est une étape clé du flot de fabrication afin de garantir des produits répondant aux critères de qualité et exempts de défauts de fabrication. Ces tests sont classifiés en test électrique et test optique. Le test électrique est basé sur du test structurel qui vérifie la partie numérique et certain blocks analogiques. La plus grande partie des circuits analogiques et la matrice des capteurs sont testés par le test optique. Ce test est basé sur des captures d’images et sur une recherche des défauts au moyen d’algorithmes de calcul spécifiques appliqué sur les images. Proche du fonctionnement applicatif, ils sont qualifies de test fonctionnels. La couverture des défauts obtenue par les tests de type fonctionnel est généralement inférieure à celle obtenue par un test structurel. L’objectif de cette thèse est d'étudier et développer des solutions de test alternatives aux tests fonctionnels afin d’obtenir des meilleurs taux de couverture de défauts, améliorant ainsi la fiabilité, tout en réduisant le temps de test et son coût. Parmi les défauts optiques qui ont causé des retours client par le passés, le défaut qui présent Horizontal Fixed Pattern Noise (HFPN) donnent lieu à un taux de couverture insuffisant. Ces recherches ont été orientées vers l'amélioration du taux de couverture de défauts dite de HFPN dans le test de production des imageurs CMOS. Le HFPN est défini comme une sorte d'image défaillante qui présente sous la forme des bandes résiduelles horizontales. Il est principalement causé par les défauts dans les lignes d'interconnexion qui alimentent et pilotent les pixels. La détection d’un défaut HFPN dans les tests optiques actuels est par comparer les valeurs moyennes de chaque ligne de pixels avec les lignes adjacentes. Si la différence d’une ligne par rapport aux lignes adjacentes est supérieur à la limites spécifié, la ligne est constaté comme défectueuse. Cette limite est donc difficile d'être ajusté face à un compromis entre le taux de couverture de ce défaut et le rendement. Dans cette thèse, nous avons proposé d’abord une amélioration de l’algorithme de détection pour améliorer le test optique actuelle. L’amélioration de test optique est validée par des résultats de test en production en appliquant le nouvel algorithme. Par la suite, une technique d’auto test (BIST) pour la détection des défauts dans les lignes d'interconnexion de matrice des pixels est étudiée et évalué. Enfin, une puce imageur avec le technique d’auto test embarqué est conçu et fabriqué pour la validation expérimentale.

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