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« Projet ACIME : analyse des circuits intégrés par microscopie électronique ».

Auteur : J. Laurent
Directeur de thèse : B. Courtois
These d'État Grenoble INP
Spécialité : informatique
Soutenance : 10/02/1984

Résumé

L’accroissement de la densité d’intégration des circuits intégrés exige des moyens de contrôle d’une extrême précision. La microscopie électronique à balayage en contraste de potentiel convient particulièrement. La thèse présente tous les aspects : organisation, observabilité, méthodes d’observation, modes de traitement et les applications à la mise au point de circuits prototypes. L’analyse des défaillances, le contrôle de qualité, la recherche des limites d efonctionnement, la restructuration. Discussion de la nécessité du développement de méthodologies d’utilisation