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« Liason d'un outil de description des circuits intégrés à un microscope électronique à balayage ».

Auteur : I. Guiguet
Directeur de thèse : B. Courtois
These de Doctorat Institut National Polytechnique de Grenoble - INPG
Soutenance : 28/10/1985
Pages : 148

Résumé

Ce document présente l'établissement d'un lien entre la description CALMA d'un circuit et un microscope électronique à balayage, en vue d'une mise au point des circuits intégrés assistée par ordinateur. En phase de validation, le concepteur identifie certaines connexions par un nom dans le fichier des masques et il peut connaître leur niveau logique dans différents états du circuit. Ces niveaux sont issus des images obtenues à l'aide du microscope. Une correspondance est ainsi établie entre le dessin des masques et l'image microscope du circuit.