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« Etude de la contrôlabilité des circuits intégrés par faisceaux d'électrons ».

Auteur : D. Micollet
Directeur de thèse : B. Courtois
These de Doctorat Institut National Polytechnique de Grenoble - INPG
Spécialité : Microélectronique
Soutenance : 29/09/1988
Pages : 260

Résumé

Cette thèse propose quelques solutions au problème du développement de la controlabilité par faisceaux d’électrons. La première partie de ce travail passe en revue les phénomènes liés aux faisceaux d’électrons ainsi que les possibilités offertes par les faisceaux de photons. La seconde partie traite plus particulièrement du phénomène EBIC. Son étude théorique et expérimentale dans le cas d’une jonction PLANAR PN amène à la conclusion que la contrôlabilité requiert des énergies de faisceaux très supérieures à celles de l’observation, exigence qui induit d’importantes perturbations du faisceau. Ces dernières sont analysées et quelques solutions proposées pour les réduire. La seconde conclusion de l’EBIC est que le faisceau ne permettra pas le contrôle du circuit dans une amplification du courant induit. La dernière partie de ce travail décrit des méthodes de conception de dispositifs MOS capables de contrôler un circuit lorsqu’il sont activés par un faisceau. Ces méthodes sont basées sur l’assemblage de divers éléments tels que des charges ou des amplificateurs ? Ces éléments sont étudiés séparément et leurs règles d’assemblage assurent la compatibilité des niveaux électriques pour une technologie donnée. Leurs essais sont rapportés en fin de travail.