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« Optimisation du contraste image en microscopie optique : application à l'inspection microélectronique ».

Auteur : F. Moisan
Directeur de thèse : B. Courtois
These de Doctorat Université Joseph-Fourier - Grenoble I
Spécialité : Microéletronique
Soutenance : 28/09/1988
Pages : 131

Résumé