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Skandar BASROUR, l'Université de Franche-Comté. Besançon, Laboratoire de Physique et Métrologie des Oscillateurs

Theme: Conception et réalisation de micro-résonateurs à mode de Lamé
Date: 03-01

Biography

Skandar BASROUR est ancien élève de l' Ecole Normale de Tunisie (1986). Il a soutenu son Doctorat de l'Université Joseph Fourier de Grenoble en 1990 sur les matériaux en couches minces pour des applications photovoltaïques. Il a ensuite travaillé en tant que chercheur post-doctoral au L2M à Bagneux sur la fabrication et la caractérisation de transistors de type TEGFET sur semiconducteurs III-V. Depuis 1992, il est Maître de Conférences à l'Université de Franche-Comté à Besançon. Ses activités de recherches développées au sein du Laboratoire de Physique et Métrologie des Oscillateurs touchent les microtechniques et les microsystèmes et plus particulièrement les MEMS réalisés par LIGA-UV. Plus récemment, il contribue au développement de nouveaux transducteurs intégrés sur silicium pour des applications dans le domaine de l'acoustique bio-médicale et du test non destructif.

Abstract

Depuis une dizaine d'années des microrésonateurs en silicium polycristallin ont été réalisés en utilisant des technologies compatibles CMOS. Ces dispositifs fonctionnent tous sur le principe d'un actionnement et une détection de type capacitive et sont généralement reportés sur l'électronique de contrôle. Les modes de vibration des structures sont des modes de flexion (quelques kHz à quelques MHz) présentant des coefficients de qualité maximum autour de 105 à basse pression. L'avantage majeur de ce type de résonateur par opposition aux dispositifs fabriqués sur Quartz est leur taille submillimètrique et aussi la possibilité d'intégration avec l'électronique. Dans le cadre de cette conférence, on présentera un nouveau type de micro-résonateur fonctionnant sur un mode de vibration original dit mode de contour ou mode de LAME. Ce mode particulier permet d'obtenir des facteurs de qualité importants même à haute fréquence. La technique LIGA-UV a été choisie pour réaliser ces dispositifs en nickel électrodéposé. Ce procédé de microfabrication présente l'avantage d'être compatible avec la technologie CMOS (filière ABOVE-IC ou POST-CMOS). Nous décrirons en détail : 1. le principe du mode de LAME 2. la structure résonante retenue 3. les simulations par éléments finis sur ANSYS du dispositif, 4. les étapes technologiques de fabrication par LIGA-UV, 5. la caractérisation par interférométrie Laser pour l'identification des modes de vibration, 6. le recalage des modes de vibrations sur ANSYS à l'aide des paramètres technologiques Finalement, nous conclurons sur les premières caractérisations électriques obtenues sur ce type de dispositif et sur les perspectives pour l'intégration de ce micro-résonateur avec un circuit intégré.