Publications

Publications

< back to publications

Modélisation et simulation d'un microsystème ultrasonore pour une application pulse-echo

Author(s): C. Domingues, L. Rufer, S. Mir

Doc. Source: 5ème Journées Nationales du Réseau Doctoral de Microélectronique (JNRDM'02)

Pages: 87-88

Nous présentons dans ce papier un microsystème ultrasonore piezorésistif, contrôlé de façon thermique, fonctionnant sur le principe pulse-echo qui a été modélisé et simulé entièrement. Il peut émettre un signal à une fréquence de 40 kHz, et ensuite recevoir l'écho du signal émit. Ce microsystème sera réalisé en utilisant une technologie CMOS 0.8 µm ce qui permettra d'intégrer l'électronique de traitement et la microstructure sur le même substrat.